低温等离子体技术应用范围广，气体的流速和浓度对于气态污染物治理技术应用来说是两个非常重要的因素。生物过滤 和燃烧技术能应用于较高浓度范围，但却受气体的流速所限。而低温等离子体技术对气体的流速和浓度都有一个很宽的 应用范围，低温等离子设备其应用广泛不言而喻。等离子体技术工艺简单。
低温等离子废气处理设备在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发 ，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转 变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
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