目前国内废气处理采用低温等离子技术不成熟，处于摸索阶段。相关质量管理规范标准不完善，对技术 水平参差不齐的设备生产商缺少严格的鉴定依据。所以市场上众多自称为低温等离子体的净化设备，都 是未通过鉴定的。
易产生火花放电，在高峰值电压下，反应器易产生火花放电，火花放电不仅增大电能消耗，而且破坏放 电的正常进行，净化效率低，还存在危险性。
对于低温等离子废气处理设备对设备部件的构型设计、制造精度、严密性等要求很高。比如对电场频率、电压、 高频的脉冲等参数，成套设备中如果其中的某个参数达不到要求，如电压电低、频率过高或过低等会对 离子体的产生量造成很大的影响，甚至会造成爆炸事件。
当填充材料直径为3mm时，电场强度为4KV/cm时，由于击穿和火花的产生，对苯等有机物的分解并不十分 完全。
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